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壓電旋轉納米位移臺RF-5950A 可在-269℃的低溫下進行開環使用。設備具備合適的安裝尺寸。得益于更跟均衡的尺寸設計,設備具有更大的負載能力。
設備支持真空環境。并且支持定制化的開孔位置,滿足不同的安裝場景。壓電陶瓷的驅動模塊使用,使設備具有360°全行程的高精度定位及高分辨率。
壓電旋轉納米位移臺RF-5950A尺寸參數 | ||
外形尺寸 | 59.0*59.0*21.5 | mm |
臺面平面度 | 10 | μm |
總重量 | 190 | g |
材料 | ||
機身 | 鋁合金 | / |
驅動 | PZT壓電陶瓷 | / |
驅動機構 | 鈹青銅 | / |
導線 | 屏蔽線,銅線 | / |
粗調模式 | ||
行程 | 360°無限制 | ° |
回轉直徑 | 50 | mm |
運動步進 | 0.1~7.21 | m° |
速度上限 | 0.132 | rad/s |
細調模式 | ||
細調步進 | 0.16 | μ° |
細調范圍 | 10.8 | m° |
閉環運動 | ||
重復定位精度 | 0.66 | m° |
分辨率 | 0.33 | m° |
負載 | ||
垂直運動方向負載 | 10 | N |
負載扭矩 | 160 | N/mm |
操作環境 | ||
閉環(開環)操作溫度 | -20~80(-269~80) | ℃ |
是否適用真空 | 是 | / |
其它 | ||
控制類型 | 開環/閉環 | / |
運動分辨率 | 0.16 | μ° |
驅動電壓上限 | 125 | V |